Установка фізичного осадження матеріалів з парової фази ВН-2000М (PCVD) розроблена відповідно до Технічного завдання замовника та призначена для осадження наступних матеріалів:
- діелектрики SiO2, SiNx, SiOxNy;
- напівпровідниковий матеріал SiC, a-Si, VO2
Комплект поставки.
1. Система реєстрації вакууму
2. Нагрівач тримача об'єктів
3. Магнетрони
4. Джерело живлення постійного струму для магнетронів
5. Система управління
6. Кварцовий вимірювач товщини напиленого шару
7. Джерело живлення змінного струму для магнетронів
8. Система подачі робочих газів, можливість подачі одночасно двох робочих газів заданої пропорції:
- газові витратоміри;
- ємність для попереднього змішування газів, що подаються;
- блок управління витратомірами;
- індикатор вакууму з перетворювачем (реалізація точного контролю тиску робочих газів у робочій зоні магнетронів)
9. Система вакуумного відкачування включає:
- високовакуумний насос Турбо PFEIFFER DN 250 1900 L/S;
- форвакуумний насос;
- високовакуумний шибер;
- затвор вакуумний (для дроселювання системи відкачування з метою стабілізації тиску та економії робочих газів);
- насос попереднього вакууму;
10. Електрична стійка для розміщення джерел живлення та блоків керування включає:
- блок живлення турбомолекулярного насоса;
- блок ВЧ-живлення; - Блок вимірювальний;
- блок виміру вакууму;
- панель увімкнення системи охолодження (чилер або водяний насос, як додаткова опція);
- блок керування витратомірами (тип MKS або РРГ).
Технічні характеристики.
1 Нагрівач утримувача об'єктів – до 300 град.
2 Три магнетрони, діаметр мішені - 40 мм.
3 Систем вакуумного відкачування включає:
- високовакуумний насос Турбо PFEIFFER DN 250 1900 L/S (Стандарт підключення: Зовнішній - DN 250 CF-F, Внутрішній - DN 40 ISO-KF; Напуску G 1/8” ; Номінальна швидкість обертання - 5 31500) Гц (1/хв); швидкість обертання в режимі очікування - 350 (21000) Гц (1/хв); Шум 47 Дб; Залишковий тиск (зворотний тиск) < 0.2 мбар;
- форвакуумний насос продуктивністю, щонайменше, 8 л/сек,
- високовакуумний шибер з прохідним отвором, щонайменше, Ду 100 і можливістю регулювання дроселюванням у процесі напилення.
4 Насос попереднього вакууму – до 16л/с